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特點(diǎn)：

1、亞微米級(jí)重復(fù)定位精度
2、單軸直線度5μm
3、XY 兩軸正交性可達(dá)±5arc-sec
4、直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，光柵尺反饋


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